ME500
■
ME500 Flush Diaphragm Piezoresistive Ceramic Pressure Sensor
- Flush
diaphragm, piezoresistive ceramic pressure sensor
- Pressure
range: 0…0.5 to 0…800 bar
- Gauge
/ Sealed Gauge / Absolute pressure measurement
- Excellent
resistance to corrosion and abrasion
- Thermally
compensated
- Extended
choice of measuring ranges
■ 제품 개요
Metallux ME500은 Flush Diaphragm 구조의 Piezoresistive Ceramic Pressure Sensor로, 세라믹
베이스 플레이트와 Flush Ceramic
Diaphragm을 적용하여 압력을
측정하는 제품입니다.
Piezoresistive 원리를 기반으로
작동하며, 세라믹 다이어프램
한쪽에
Wheatstone Bridge가 형성되어 압력에
따른 변화를 전기적
신호로 변환합니다. 측정 대상
매체가 다이어프램에 직접
접촉하는 구조로 설계되어
별도의 보호막 없이
다양한 압력 측정
환경에 적용할 수
있습니다.
다이어프램에는 **Al₂O₃
Ceramic 96%**가 표준으로 적용되며, 우수한 화학적 내성을
갖추어 공격성 가스, 대부분의 용제 및
산성 물질 등에
대한 내식성이 뛰어납니다. 또한 Laser-adjustable PTC Resistor를 이용한 Thermal Compensation을
적용하고, 세라믹 소재의
높은 선형성을 통해 Hysteresis의
영향을 최소화하도록 설계되었습니다.
■ 압력측정원리
ME500은 Piezoresistive Ceramic Pressure Sensor 기술을 기반으로
압력을 측정합니다.
Flush Ceramic Diaphragm에 Screen-printed Wheatstone Bridge가 구성되어
있으며, 측정 매체가
다이어프램에 직접 압력을
가하면 압력에 따라 Bridge의
전기적 특성이 변화합니다. 이
변화가 전기적 출력
신호로 변환되어 압력
측정값으로 사용됩니다.
또한
센서는
Laser-adjustable PTC Resistor를
이용하여
Thermal Compensation이 이루어지며, 세라믹 소재의
특성으로 전체 측정
범위에서 높은 선형성을
확보하고
Hysteresis의 영향을 최소화합니다.
■ 제품의 재질
(Materials of wetted parts)
ME500의
압력 측정 다이어프램은 **Al₂O₃
Ceramic 96%**를 표준 재질로
적용하며, 업체의 요구에
따라 Al₂O₃
Ceramic 99.6% 또는
Sapphire 재질도 선택할 수
있습니다.
세라믹
소재는 우수한 화학적
내성을 갖고 있어
공격성 가스, 대부분의
용제 및 산성
물질 등 다양한
매체 환경에서 높은
내식성을 제공합니다.
■ 정밀도 등급
(Accuracy class)
ME500의 Accuracy는 Pressure Range에
따라 달라지며, 데이터시트
기준
Typical 0.2~0.5% F.S, Maximum 0.4~1.0% F.S 범위입니다.
▶ 0.5 bar: Typ. 0.4% / Max. 0.9% F.S
▶ 1 bar: Typ. 0.3% / Max. 0.9% F.S
▶ 2 bar: Typ. 0.3% / Max. 0.6% F.S
▶ 5 bar: Typ. 0.2% / Max. 0.4% F.S
▶ 10~50 bar: Typ. 0.2% / Max. 0.5% F.S
▶ 100~200 bar: Typ. 0.2~0.4% / Max. 0.5~0.8% F.S
▶ 400~800 bar: Typ. 0.5% / Max. 1.0% F.S
Accuracy는 Non-Linearity, Hysteresis, Non-Repeatability를 기반으로
산출됩니다.
■ 적용환경산업
ME500은 Flush Diaphragm 구조와
세라믹 소재의 우수한
내식성을 바탕으로 다양한
산업 및 압력
측정 환경에 적용할
수 있습니다.
▶
부식성 가스 및
화학 물질의 압력
측정
▶
용제 및 산성
물질을 사용하는 산업
공정
▶
일반 산업용 압력
측정 시스템
▶
압력 제어 및
계측 시스템
▶
다양한 산업용 압력센서
및 트랜스미터 설계
▶
고온 환경의 압력
측정 시스템
■ 일반 기술제공 사양
|
Pressure ranges FSO (bar) |
0…0.5 to 0…800 bar |
|
Pressure type |
Gauge / Sealed Gauge / Absolute |
|
Technology |
Piezoresistive |
|
Diameter (mm) |
18.00 mm |
|
Sensor type |
Flush diaphragm |
|
Thermal offset shift |
≤ ±0.02% F.S/K /
option ≤ ±0.04% F.S/K / ≤ ±0.06% F.S/K |
|
Supply voltage |
2…30 VDC |
|
Offset |
-0.1 ± 0.1 mV/V (standard) |
|
Termination pitch |
2.54 mm |
|
Signal output |
Differential
signal, mV/V |
