EDL.335 반도체 스크러버장비용
■ EDL.335 저압 압력 트랜스미터
- Scrubber Machine 및 저압 측정용 설계
- ±25 mbar ~
±500 mbar의 미세 압력 측정
- Piezoresistive Silicon Pressure
Sensor 적용
- 접액부 Stainless Steel 316L 적용
- 다양한 Electrical / Process Connection 선택 가능
- 4~20mA 및 다양한 Voltage Output 지원
- IP65 보호등급
■ 제품 개요
EDL.335는 Scrubber Machine 및
저압 공정의 정밀한 압력 측정을 위해 설계된 저압 압력 트랜스미터입니다. Piezoresistive
Silicon Pressure Sensor를 적용하여 ±25 mbar부터 ±500 mbar까지의 낮은 압력 범위를 안정적으로 측정할 수 있습니다. 접액부와
센서 다이어프램에는 Stainless Steel 316L을 적용하였으며, 다양한 출력 신호와 Electrical Connection 및 Process Connection을 선택할 수 있어 공기 및 각종 가스의 저압 측정 시스템에 유연하게 적용할
수 있습니다.
■ 핵심 차별화 요소
① 미세 저압 측정
±25 mbar부터 ±500 mbar까지의
낮은 압력 범위를 지원하여 Scrubber Machine 및 미세 압력 모니터링에 적합합니다.
②
다양한 연결 방식
DIN 43650A, M12 Plug, Cable Type 등 다양한 Electrical Connection과 G1/2 등
Process Connection을 선택할 수 있습니다.
③
고온 공정 대응 옵션
High Temperature Adapter 및 Cooling Device 옵션을 통해 최대 200℃ 또는 300℃의 고온 공정에 대응할
수 있습니다.
■ 적용 분야
▶ Scrubber Machine
▶ 저압 측정 시스템
▶ 공기 압력 측정
▶ 각종 가스 압력 측정
■ 옵션 (Options)
▶ -40~+125℃ Operating Temperature
▶ Restrictor Screw
▶ "USE NO OIL" for Oxygen
Application
▶ High Temperature Adapter
▶ Cooling Device up to 200℃ / 300℃
▶ Stainless Steel Tag Plate
▶ Manufacture Calibration Certificate
▶ KOLAS ILAC-MRA Calibration Certificate
▶ Certificate of Conformance / Origin
■ 일반 기술제공 사양
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Pressure ranges |
±25 / ±50 / ±250 / ±500 mbar (기타 범위 요청 가능) |
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Accuracy |
±0.5% F.S ±0.25% F.S (측정범위 ≥ 100 mbar) |
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Electrical connection |
mPm Plug DIN 43650A M12 Plug 2m Cable |
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Process Connection |
G1/2 with 12.4 mm
hole G1/4 with 6 mm hole R1/4 with 6 mm hole 기타 요청 가능 |
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Signal output |
4~20mA, 2-wire 0~10V / 0~5V / 1~5V, 3-wire |
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Operating temperature |
-20~+100℃ Option: -40~+125℃ |
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Material |
Wetted Parts & Sensor Diaphragm: SUS316L Housing / Body: SUS304 |
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Response
Time |
< 5 ms |


