DAHO (주)다호 트로닉

EDL.335 반도체 스크러버장비용

■ EDL.335 저압 압력 트랜스미터

- Scrubber Machine 및 저압 측정용 설계

- ±25 mbar ~ ±500 mbar의 미세 압력 측정

- Piezoresistive Silicon Pressure Sensor 적용

- 접액부 Stainless Steel 316L 적용

- 다양한 Electrical / Process Connection 선택 가능

- 4~20mA 및 다양한 Voltage Output 지원

- IP65 보호등급

 

■ 제품 개요

EDL.335는 Scrubber Machine 및 저압 공정의 정밀한 압력 측정을 위해 설계된 저압 압력 트랜스미터입니다. Piezoresistive Silicon Pressure Sensor를 적용하여 ±25 mbar부터 ±500 mbar까지의 낮은 압력 범위를 안정적으로 측정할 수 있습니다. 접액부와 센서 다이어프램에는 Stainless Steel 316L을 적용하였으며, 다양한 출력 신호와 Electrical Connection 및 Process Connection을 선택할 수 있어 공기 및 각종 가스의 저압 측정 시스템에 유연하게 적용할 수 있습니다.

■ 핵심 차별화 요소

① 미세 저압 측정
±25 mbar부터 ±500 mbar까지의 낮은 압력 범위를 지원하여 Scrubber Machine 및 미세 압력 모니터링에 적합합니다.

② 다양한 연결 방식
DIN 43650A, M12 Plug, Cable Type 등 다양한 Electrical Connection과 G1/2 등 Process Connection을 선택할 수 있습니다.

③ 고온 공정 대응 옵션
High Temperature Adapter 및 Cooling Device 옵션을 통해 최대 200℃ 또는 300℃의 고온 공정에 대응할 수 있습니다.

■ 적용 분야

▶ Scrubber Machine

▶ 저압 측정 시스템

▶ 공기 압력 측정

▶ 각종 가스 압력 측정

■ 옵션 (Options)

▶ -40~+125℃ Operating Temperature

▶ Restrictor Screw

▶ "USE NO OIL" for Oxygen Application

▶ High Temperature Adapter

▶ Cooling Device up to 200℃ / 300℃

▶ Stainless Steel Tag Plate

▶ Manufacture Calibration Certificate

▶ KOLAS ILAC-MRA Calibration Certificate

▶ Certificate of Conformance / Origin

■ 일반 기술제공 사양

Pressure ranges

±25 / ±50 / ±250 / ±500 mbar (기타 범위 요청 가능)

Accuracy

±0.5% F.S

±0.25% F.S (측정범위 ≥ 100 mbar)

Electrical connection

mPm Plug

DIN 43650A

M12 Plug

2m Cable

Process Connection

G1/2 with 12.4 mm hole

G1/4 with 6 mm hole

R1/4 with 6 mm hole

기타 요청 가능

Signal output

4~20mA, 2-wire

0~10V / 0~5V / 1~5V, 3-wire

Operating temperature

-20~+100℃

Option: -40~+125℃

Material

Wetted Parts & Sensor Diaphragm: SUS316L

Housing / Body: SUS304

Response Time

< 5 ms

 

Technical Information
Data-sheet & E-price