■ EDA.375 Ultra High Purity(UHP) 압력 트랜스미터

- Ultra High Purity(UHP) Gas System 전용

- 접액부 SUS316L(All Wetted Parts)

- EP(Electropolishing) 처리, Max. Ra ≤ 0.18 μm (SEMI F19)

- Process Connection Surface Finish Ra ≤ 0.13 μm

- ISO 14644 Class 5 Clean Room 생산

- Zero & Span 현장 조정 기능

- 우수한 외부 Noise 차폐 성능

- 다양한 Process Connection 제공

■ 제품 개요

EDA.375는 반도체 및 Ultra High Purity(UHP) Gas Distribution System에 적합하도록 개발된 고청정 압력 트랜스미터입니다. 접액부는 Stainless Steel 316L 재질을 사용하며, 모든 접액부는 Electropolishing(EP) 처리를 통해 최대 Ra ≤ 0.18 μm(SEMI F19 기준)의 표면 거칠기를 구현하여 Particle 발생을 최소화하고 우수한 내식성과 청정성을 제공합니다.

또한 Process Connection은 Ra ≤ 0.13 μm까지 관리되며 ISO 14644 Class 5 Clean Room에서 생산됩니다. Zero & Span 현장 조정 기능과 다양한 출력 신호 및 공정 연결 방식을 지원하여 반도체, 전자, 의료, 바이오 및 제약 산업의 고청정 가스 시스템에 적합합니다.

■ 핵심 경쟁력 : EP(Electropolishing) 처리
▶ Wetted Surface : Max. Ra ≤ 0.18 μm (SEMI F19)
▶ Process Connection Surface : Ra ≤ 0.13 μm
▶ 반도체용 초고순도(UHP) 가스 시스템에 최적화

■ 적용 분야

▶ 반도체 제조설비

▶ Ultra High Purity Gas Distribution System

▶ 전자 산업

▶ 의료 산업

▶ 바이오 산업

▶ 제약 산업

■ 정밀도 등급 (Accuracy Class)

▶ ±0.5% F.S

▶ ±0.25% F.S (Option)

▶ ±0.1% F.S (Option)

■ 일반 기술제공 사양

Pressure ranges	0...1 bar to 0...350 bar
Accuracy	±0.5% F.S (Option : ±0.25%, ±0.1%)
Electrical connection	DIN 43650A mPm plug M12 plug 2m cable (Option)
Signal output	4...20 mA, 2-wire 0...10 V, 3-wire 0...5 V, 3-wire 1...5 V, 3-wire 0.5...4.5 V, 3-wire
Operating temperature	-20...+100 ℃ (Standard) -40...+125 ℃ (Option)